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Journal of the Faculty of Engineering, Ibaraki University >

 
Title :モンテカルロ法による薄膜形成過程のシミュレーション
Title alternative :Monte-Carlo Simulation Study of Film Formation Process
Authors :月田, 達之 / 篠嶋, 妥 / 小澤, 哲
Authors alternative :TSUKIDA, tatsuyuki / SASAJIMA, yasushi / OZAWA, satoru
Issue Date :Dec-1991
Type Local :研究報告書
Publisher :茨城大学工学部
URI :http://hdl.handle.net/10109/7288
Citation :茨城大学工学部研究集報 no.39 p.169 -177
Appears in Collections:Journal of the Faculty of Engineering, Ibaraki University

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